重要的準(zhǔn)分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體,對(duì)氣體質(zhì)量要求高,激光混合氣配制精度要求高,高純二氧化碳純度達(dá)99.999%,高純氮?dú)獾募兌?9.999%,高純氦氣的純度要求99.999%,二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮?dú)馐瞧胶鈿怏w,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。20W機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見(jiàn)光波長(zhǎng)分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中,而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm,的是647.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中,有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。
中性原子激光中,常見(jiàn)的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著,所以常用作非可見(jiàn)光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優(yōu)越的同調(diào)性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價(jià)格相對(duì)地),使它廣用于掃描讀碼設(shè)備及全像等。氣體激光(Gaseous laser),以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中,包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。
激光切割領(lǐng)域較長(zhǎng)使用的二氧化碳激光混合氣體,這里二氧化碳就是產(chǎn)生激光作用的主導(dǎo)氣體。二氧化碳激光混合氣體目前存在切割線粗,毛邊多,并且切割鋼板的厚度很有限,一般都在10mm左右。中性原子激光與離子氣體激光的差別,在于前者的激光光來(lái)自中性原子能階之間的躍遷,后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波長(zhǎng)屬于紅外線波段,后者則在可見(jiàn)光和紫外線區(qū)。一方面氬激光很少見(jiàn),另一方面為了便于稱號(hào),人們常將氬離子激光簡(jiǎn)稱為氬激光。不光中文敘說(shuō)如此,英文文獻(xiàn)亦見(jiàn)此用法,所以在不致混雜的時(shí)候,仍可用氬激光稱號(hào)氬離子激光。
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